特許

J-GLOBAL ID：200903086508520554

リソグラフィ装置及びデバイスの製造方法

発明者： ロブレヒト エミール マリア レオニア デ ヴェールト
出願人/特許権者： エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ
代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  白江 克則 ,  吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-226806
公開番号（公開出願番号）：特開2005-057289
出願日： 2004年08月03日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】リソグラフィ装置及びデバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】リソグラフィ装置内で対象物テーブルを位置決めする第1駆動ユニット及び第2駆動ユニットの組合せを説明する。第1駆動ユニットは、対象物テーブルに連結された第1部分と、第2駆動ユニットの第1部分に連結された第2部分とを有する。第1駆動ユニットの第1及び第2部分は、壁によって互いに分離される。それによって、対象物を取り囲む調節された環境の維持が容易になる。【選択図】図4a

請求項（抜粋）：

放射投影ビームを提供する照明装置と、 前記投影ビームの横断面にパターンを付与する働きをするパターン化手段を保持する保持構造体と、 基板を保持する基板テーブルと、 前記基板の目標部分にパターン化されたビームを投影する投影装置と、 前記保持構造体又は基板テーブルの少なくとも1つを位置決めする位置決め装置とを含むリソグラフィ装置であって、前記位置決め装置が、 第1部分及び第2部分を含む第1駆動ユニットであって、該第1部分が、前記保持構造体又は前記基板テーブルに連結されかつ前記第2部分に対して相対的に移動可能な第1駆動ユニットと、 前記第1駆動ユニットの前記第2部分に連結され、少なくとも1方向に前記第1駆動ユニットを移動させる第2駆動ユニットとを含むリソグラフィ装置において、 前記第2駆動ユニット及び前記第1駆動ユニットの前記第2部分が、壁によって前記第1駆動ユニットの前記第1部分から分離されていることを特徴とするリソグラフィ装置。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68 ,  H02K41/03

FI (6件)：

H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K ,  H02K41/03 A ,  H01L21/30 515F ,  H01L21/30 516F

Fターム (26件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F046AA22 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17 ,  5F046CC20 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641HH03 ,  5H641HH20 ,  5H641JA06 ,  5H641JA08

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 磁気浮上型ステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-166342   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-035709
  
• 特許第6271606号
  
• リソグラフィ装置、デバイス製造方法、およびそれによって製造したデバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-359396   出願人：エイエスエムリトグラフィーベスローテンフエンノートシャップ
• 平面モータと磁気浮上微動ステージとを有するウエハ位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-124966   出願人：株式会社ニコン