板状被駆動体の駆動装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-024772
公開番号（公開出願番号）：特開平11-225487
出願日： 1998年02月05日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】浮上力を得るために空気圧浮上手段や近距離音波浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力による駆動を行うことにより、駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、安定性を図ることができる板状被駆動体の駆動装置を提供する。【解決手段】誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体205を浮上させる、固定部材201に設けられる空気圧浮上手段と、前記固定部材201の表面に形成され、前記板状被駆動体205を搬送する搬送用電極203とを備え、前記板状被駆動体205を、前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記搬送用電極203で静電力により搬送する。

請求項（抜粋）：

板状被駆動体の駆動装置において、(a)誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、固定部材に設けられる空気圧浮上手段と、(b)前記固定部材の表面に形成され、前記板状被駆動体を搬送する搬送用電極とを備え、(c)前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記搬送用電極で静電力により搬送することを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。

IPC (3件)：

H02N 1/00 , B65G 51/03 , B65G 54/02

FI (3件)：

H02N 1/00 , B65G 51/03 C , B65G 54/02

引用特許：

審査官引用 (10件)

静電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-022012 出願人：住友重機械工業株式会社, 樋口俊郎
物体浮揚装置を具備した物体搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-104891 出願人：株式会社カイジョー
静電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-036571 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 坂高寿

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