特許
J-GLOBAL ID：200903086536769703
マイクロフローセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-305696
公開番号（公開出願番号）：特開2006-118929
出願日： 2004年10月20日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
【課題】流速検出部の物理的大きさを小さくし、安価な構成で、微小流量を計測できるようにする。【解決手段】センサ部9と信号取り出し用の電極パッドP1〜P6とをセンサチップ10の上面に形成する。信号取り出し用の電極パッドP1〜P6と外部回路との接続は、ボンディングワイヤではなく、配線基板18を介して行う。配線基板18には、信号取り出し用の電極パッドP1〜P6に接続されるコンタクトパッドと、ヘッダ部12の電極ピンT1〜T6に接続される外部回路接続用の電極パッドと、コンタクトパッドと外部回路接続用の電極パッドとを接続する配線パターンを形成する。配線基板18に矩形状の開口18-1を設け、センサ部9を覆わないようにし、計測対象の流体の流通路とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
計測対象の流体の速度を検出するセンサ部と,このセンサ部からの信号取り出し用の電極パッドとが同一面上に形成されたセンサチップと、
前記信号取り出し用の電極パッドと接続されたコンタクトパッドと,外部回路と接続される外部回路接続用の電極パッドと,前記コンタクトパッドと前記外部回路接続用の電極パッドとを接続する配線パターンとを有する配線基板とを備え、
前記センサチップのセンサ部の上面は前記配線基板により覆われていないことを特徴とするマイクロフローセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01F1/68 101A
, G01F1/68 104A
出願人引用 (3件)
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特開平2-263117号公報
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特開平3-053125号公報
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発熱抵抗式空気流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-150103
出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
審査官引用 (2件)
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流体検出器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-091598
出願人：山武ハネウエル株式会社
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フローセンサ及びその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-143697
出願人：株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社
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