特許
J-GLOBAL ID：200903086538471566
カラーフィルター検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-085762
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270338
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 カラーフィルター基板の欠陥と、検査装置の撮像系に起因するノイズや汚れとを容易に識別できる、検査効率の良いカラーフィルター検査装置を提供する。【構成】 カラーフィルター基板10の表面の少なくとも一部を撮影する撮像装置2と、カラーフィルター基板10の撮影される面とは反対側の面側から照明する光源3と、撮像装置2により撮影された映像を表示するモニター装置4と、カラーフィルター基板10を保持し、かつカラーフィルター基板10をその面方向に円運動させるステージ5から構成されるカラーフィルター検査装置。
請求項（抜粋）：
基板上に少なくとも着色層が形成されたカラーフィルター基板の表面の少なくとも一部を撮影する撮像装置と、前記カラーフィルター基板を、前記撮影される面とは反対側の面側から照明する光源と、前記撮像装置により撮影された映像を表示するモニター装置と備えたカラーフィルター基板の欠陥を目視で検査するために用いられるカラーフィルター検査装置において、前記カラーフィルター基板を保持し、かつ前記カラーフィルター基板をその面方向に円運動させることが可能なステージを備えたことを特徴とするカラーフィルター検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01M 11/00
, G01N 21/84
, G02B 5/20 101
