特許
J-GLOBAL ID:200903086578826880

三次元温度・濃度計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-309392
公開番号(公開出願番号):特開平10-148614
出願日: 1996年11月20日
公開日(公表日): 1998年06月02日
要約:
【要約】【課題】時間的に変化する対象にも適用でき、瞬時に対象の三次元的現象解析を行なえる三次元温度・濃度計測装置を提供すること。【解決手段】レーザ光17を二本以上に分離し、分離された各レーザ光17a〜17dに光路差を設けることにより各レーザ光17a〜17dに照射時間差を設け、さらに各レーザ光17a〜17dをシート状にし照射位置をずらしながら三次元的に測定場Aに照射する照射手段(1〜5)と、各レーザ光17a〜17dから発生する蛍光の中で、それぞれが特定の一つのレーザ光から発生する蛍光のみを検出する複数の検出手段10a〜10dと、これら検出手段10a〜10dで検出された照射時間の異なる複数のレーザ光による蛍光を各々分離して計測することで生じる複数の二次元断面分布を組み合わせて、測定場Aの三次元的な温度及び濃度を計測する計測手段(11)と、を具備。
請求項(抜粋):
レーザ光を測定場に入射し、三次元で温度及び濃度を計測する三次元温度・濃度計測装置において、前記レーザ光を二本以上に分離し、分離された各レーザ光に光路差を設けることにより前記各レーザ光に照射時間差を設け、さらに前記各レーザ光をシート状にし照射位置をずらしながら三次元的に前記測定場に照射する照射手段と、前記各レーザ光から発生する蛍光の中で、それぞれが特定の一つのレーザ光から発生する蛍光のみを検出する複数の検出手段と、これら検出手段で検出された照射時間の異なる複数のレーザ光による蛍光を各々分離して計測することで生じる複数の二次元断面分布を組み合わせて、前記測定場の三次元的な温度及び濃度を計測する計測手段と、を具備したことを特徴とするた三次元温度・濃度計測装置。
IPC (3件):
G01N 21/64 ,  G01J 5/58 ,  G01K 11/12
FI (3件):
G01N 21/64 Z ,  G01J 5/58 ,  G01K 11/12 H
引用特許:
出願人引用 (9件)
  • プラズマモニタリング方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-157844   出願人:松下電器産業株式会社
  • 特開昭58-120154
  • 蛍光断層像測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-028276   出願人:新技術事業団
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