特許

J-GLOBAL ID：200903086583518794

振動ジャイロスコープのためのミクロ構造体

発明者： マイケル・ウィリアム・プッティ ,  デーヴィッド・スタージ・エディ
出願人/特許権者： ゼネラル・モーターズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-094469
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012575
出願日： 1994年05月06日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】 改善した振動ジャイロスコープ及びそのミクロ構造体を提供する。【構成】 振動ジャイロスコープ(10)のためのミクロ構造体(50)は実質的に減衰されない高Q値半径方向振動が可能な状態で支持されたリング(14)を有する。リングは導電性で、チャージ板を有し、その周辺には複数個の放射方向に位置した電荷伝導性領域(13)が配置され、リングの半径方向変位を感知する。リング、その支持体(15)及び電荷伝導性領域は、モールド内で、単一の集積回路を備えた普通のケイ素基体(30)の表面上に形成される。

請求項（抜粋）：

振動ジャイロスコープのためのミクロ構造体において、ケイ素基体ベース(12)と;リング(14)と;実質上半径方向で減衰しない態様で上記リングを上記ベースの上方で支持するための支持手段(15、16)と;を有することを特徴とするミクロ構造体。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  C23C 14/14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-301709   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド