特許
J-GLOBAL ID:200903086705339837

イミドフェノール化合物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-280051
公開番号(公開出願番号):特開2002-088066
出願日: 2000年09月14日
公開日(公表日): 2002年03月27日
要約:
【要約】【課題】 ポジ型感光性樹脂組成物に用いた場合に短時間で現像が行え、かつ、高感度、高コントラストのパターニング性能を発現する材料を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)または(2)【化1】(式中Xは下記に示される中から選ばれる基または単結合を示し、【化2】Yは2価の有機基を示す。)で表されるイミドフェノール化合物を合成する。
請求項(抜粋):
下記一般式(1)または(2)【化1】(式中Xは下記に示される中から選ばれる基または単結合を示し、【化2】Yは2価の有機基を示す。)で表されるイミドフェノール化合物。
IPC (4件):
C07D209/76 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027
FI (4件):
C07D209/76 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (20件):
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB23 ,  2H025CB25 ,  2H025CC20 ,  4C204BB05 ,  4C204CB23 ,  4C204DB30 ,  4C204EB03 ,  4C204FB13 ,  4C204FB16 ,  4C204FB17 ,  4C204GB01
引用特許:
審査官引用 (3件)
引用文献:
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