特許
J-GLOBAL ID:200903086705339837
イミドフェノール化合物
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-280051
公開番号(公開出願番号):特開2002-088066
出願日: 2000年09月14日
公開日(公表日): 2002年03月27日
要約:
【要約】【課題】 ポジ型感光性樹脂組成物に用いた場合に短時間で現像が行え、かつ、高感度、高コントラストのパターニング性能を発現する材料を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)または(2)【化1】(式中Xは下記に示される中から選ばれる基または単結合を示し、【化2】Yは2価の有機基を示す。)で表されるイミドフェノール化合物を合成する。
請求項(抜粋):
下記一般式(1)または(2)【化1】(式中Xは下記に示される中から選ばれる基または単結合を示し、【化2】Yは2価の有機基を示す。)で表されるイミドフェノール化合物。
IPC (4件):
C07D209/76
, G03F 7/004 501
, G03F 7/022
, H01L 21/027
FI (4件):
C07D209/76
, G03F 7/004 501
, G03F 7/022
, H01L 21/30 502 R
Fターム (20件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA13
, 2H025AA20
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB23
, 2H025CB25
, 2H025CC20
, 4C204BB05
, 4C204CB23
, 4C204DB30
, 4C204EB03
, 4C204FB13
, 4C204FB16
, 4C204FB17
, 4C204GB01
引用特許:
引用文献:
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