特許
J-GLOBAL ID：200903086831506714
光学デバイス用材料・光学デバイス・光学デバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-322244
公開番号（公開出願番号）：特開平8-179106
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】精度のよい凸の非球面形状を形成する。【構成】光透過性のデバイス材料100の平坦な表面に、遮光性の中間層101と、熱可塑性の感光性材料の薄層102とを積層し、露光によりパタ-ニングされた感光性材料104を加熱し、凸曲面形状105を創成し、異方性のドライエッチングにより周辺裾野部の形状をデバイス材料に彫り写すとともに、周辺裾野部107の内側において中間層106を残し、その上に、感光性材料層109を形成したのち、残留した中間層106をマスクとしてデバイス材料100側から露光を行い、3次元パターン110を得、これを加熱し、凸曲面形状111を創成し、第2の凸曲面形状111と周辺裾野部の形状とを、異方性のドライエッチングによりデバイス材料100に彫り写して、デバイス材料100に1以上の凸の非球面形状を形成する。
請求項（抜粋）：
光透過性のデバイス材料の1以上の平坦な表面に、遮光性の中間層と、熱可塑性の感光性材料の薄層とを、上記表面側から上記順序に積層して構成される、光学デバイス用材料。
引用特許：
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