特許
J-GLOBAL ID:200903086855507266

共焦点顕微鏡による検査方法およびそのシステム構成

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松田 省躬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-164542
公開番号(公開出願番号):特開2000-035400
出願日: 1999年06月11日
公開日(公表日): 2000年02月02日
要約:
【要約】【課題】レーザ光を顕微鏡光路に送り込み、試料の様々な位置に時間的間隔を置いて順次照準、照射し、被照射位置からの反射光および/または放射光から走査面の画像を形成していく共焦点顕微鏡による検査方法【解決手段】レーザ光のポイント間の偏向の間に光のスペクトル組成および/または強度を変更し、その一方では偏向を間断なく続けることによって、試料内で隣接している少なくとも二つの位置がスペクトル特性の異なる光で、および/または強度の異なるレーザ光線で画像面の選択部分だけにレーザ光線を照射される
請求項(抜粋):
偏向を繰り返す一方で、顕微鏡光路に送り込まれるレーザ光のスペクトル組成および/または強度を変えることによって、試料内の隣接する少なくとも二つの位置が、スペクトル特性および/または強度の異なる光によって照射されることを特徴とする共焦点顕微鏡において、スペクトル域の異なるレーザ光を、少なくとも二つの座標で偏向する顕微鏡光路に送り込み、試料の観察位置に時間的間隔をおいて順次照準、照射する場合に、試料の少なくとも一つの面においてポイント、ポイントの切替毎におよび走査線毎にレーザ光を照射し、その被照射位置から出る反射光および/または放射光から走査面の画像を形成することを特徴とする共焦点顕微鏡による検査方法
IPC (2件):
G01N 21/27 ,  G02B 21/00
FI (2件):
G01N 21/27 E ,  G02B 21/00
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 光走査型顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-018366   出願人:株式会社ニコン
  • レーザー走査型光学顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-087693   出願人:興和株式会社
  • 特開平3-087804
全件表示
引用文献:
審査官引用 (2件)

前のページに戻る