大型基板用多段加熱炉、及び両面加熱式遠赤外線パネルヒーター、並びに該加熱炉内の給排気方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内藤哲寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-133634
公開番号（公開出願番号）：特開2001-317872
出願日： 2000年05月02日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】【課題】大型基板を高いクリーン度の雰囲気において、高い温度精度でもって加熱可能にし、これに加えて設置面積を最少に抑えて省スペース化を可能にした多段加熱炉の提供である。【解決手段】ヒートパイプ(発熱体)23を両側から挟んでいる放熱板21の両面にそれぞれ遠赤外線放射セラミックスの薄層が被覆されて、前記放熱板21の加熱によって、その両面から遠赤外線が放射される両面加熱式の遠赤外線パネルヒーターから成る多数の棚ヒーターH1 〜H6 を、炉本体A内に上下方向に一定ピッチPをおいて多段配置して、上下の各棚ヒーターH1 〜H6 で形成される各空間部を乾燥室R1 〜R5 とする。

請求項（抜粋）：

被乾燥物である大型基板を多段状に配置して乾燥させるための大型基板用多段加熱炉であって、内部に発熱体を有する放熱板の両面にそれぞれ遠赤外線放射セラミックスの薄層が被覆されて、前記放熱板の加熱によって、その両面から遠赤外線が放射される両面加熱式の遠赤外線パネルヒーターから成る多数の棚ヒーターが、炉本体内に上下方向に一定ピッチをおいて多段配置されて、上下の各棚ヒーターで形成される各空間部が、乾燥室となっていることを特徴とする大型基板用多段加熱炉。

IPC (6件)：

F26B 9/06 , F26B 3/04 , F26B 3/30 , F26B 23/04 , G02F 1/13 101 , H01L 21/027

FI (6件)：

F26B 9/06 Z , F26B 3/04 , F26B 3/30 , F26B 23/04 B , G02F 1/13 101 , H01L 21/30 567

Fターム (21件)：

2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 3L113AA01 , 3L113AB02 , 3L113AB06 , 3L113AC10 , 3L113AC45 , 3L113AC46 , 3L113AC48 , 3L113AC49 , 3L113AC67 , 3L113AC73 , 3L113AC76 , 3L113BA34 , 3L113CA08 , 3L113CB06 , 3L113DA11 , 3L113DA14 , 3L113DA17 , 5F046KA04

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭52-142972
産業部品の迅速真空乾燥方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-229200 出願人：新日本製鐵株式会社
特開昭64-067887

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審査官引用 (4件)

特開昭52-142972
産業部品の迅速真空乾燥方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-229200 出願人：新日本製鐵株式会社
特開昭64-067887

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