特許
J-GLOBAL ID:200903086891498230

電子源及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 原 謙三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-163383
公開番号(公開出願番号):特開2002-056772
出願日: 2001年05月30日
公開日(公表日): 2002年02月22日
要約:
【要約】【課題】 電子源のエミッション開始電圧、及びデバイス駆動電圧を低減可能な構造を提供すると共に、電子源の製造工程を簡略化する。【解決手段】 電子源4が微小繊維の集合により構成されるアモルファスカーボンからなることを特徴とし、更に、その製造方法においては、少なくとも、金属を陽極酸化して細孔を有する鋳型8を形成する工程と、気相炭素化法によって、鋳型8の中に、アモルファスカーボンからなる電子源材料を充填する工程と、鋳型8の少なくとも一部を除去する工程とを具備することを特徴とする。
請求項(抜粋):
微小繊維の集合により構成されるアモルファスカーボンからなることを特徴とする電子源。
IPC (4件):
H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12
FI (4件):
H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  H01J 1/30 F
Fターム (8件):
5C031DD17 ,  5C036EE14 ,  5C036EE19 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH11
引用特許:
審査官引用 (6件)
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