特許

J-GLOBAL ID：200903086894146726

変換効率算出方法、変換効率算出装置、及びコンピュータプログラム

発明者： 村上 匡且
出願人/特許権者： 国立大学法人大阪大学
代理人 (2件)： 河野 登夫 ,  河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-333255
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142115
出願日： 2005年11月17日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】レーザ光を照射した際にプラズマから放射される光のうち特定の波長域の光に変換される効率を算出する変換効率算出方法、変換効率算出装置、及びコンピュータプログラムの提供。【解決手段】変換効率を算出するために必要なパラメータの入力を受付け(S1)、プラズマの運動エネルギ及び内部エネルギ、並びにターゲットからイオンを電離するのに要するイオン化エネルギを算出する(S2〜S4)。次いで、プラズマから放射される光のエネルギを、光学的厚みを考慮した上でシュテファン-ボルツマンの放射法則に従って算出する(S5)。また、プラズマから放射されるEUV光のエネルギを、EUV光の強度がプランク分布に漸近するという性質を利用して算出する(S6)。算出した各エネルギの値を用いて変換効率を算出する(S7)。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

プラズマを発生させるためにターゲットに照射する光のエネルギと、発生させたプラズマから放射される光から取り出すべき特定の波長域の光のエネルギとの変換効率を算出する変換効率算出方法において、 前記波長域の光のエネルギをプランクの放射法則に従って算出し、算出した前記波長域の光のエネルギと照射する光のエネルギとの比を算出することにより変換効率を算出することを特徴とする変換効率算出方法。

IPC (2件)：

H01S 3/00 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01S3/00 A ,  H01L21/30 531S

Fターム (6件)：

5F046GC03 ,  5F172AD05 ,  5F172AD06 ,  5F172AE03 ,  5F172ZZ02 ,  5F172ZZ20