特許

J-GLOBAL ID：200903086932151291

ステージ装置

発明者： 牧野内 進
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-047175
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248157
出願日： 1995年03月07日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 可動部の振動量を減少させると共に、位置決めまでの時間を短縮し、且つその可動部の駆動機構に対する負荷を大きくしない。【構成】 試料台1を回転モータ7X及び送りねじ6Xを介してX方向に駆動し、レーザ干渉計8Xにより計測される試料台1のX座標XM から目標座標Xi を差し引いて得られる位置偏差ΔXi に応じて、ダンピング係数変更手段26において可変のダンピング係数KV を生成する。可変ゲイン増幅手段27で、X座標XM の微分である速度VXM に、そのダンピング係数KV を逆符号にした値を乗じて得られるダンピング力DFXに対応する駆動信号を生成し、この駆動信号をパワー増幅器31を介してリニアモータ3X,4Xのコイルに供給し、リニアモータ3X,4Xで可変のダンピング力を発生させる。

請求項（抜粋）：

ベースと、該ベースに対し移動自在に載置された可動部と、該可動部を前記ベースに対して移動する駆動手段と、前記ベースに対する前記可動部の位置を検出する位置検出手段とを有し、該位置検出手段の検出結果に基づいて前記駆動手段を介して前記可動部の位置を制御するステージ装置において、前記可動部の前記ベース上での目標位置と前記可動部の位置との偏差を求める偏差検出手段と、前記可動部の前記ベースに対する相対移動を妨げるダンピング手段と、前記偏差検出手段で検出される偏差に応じて前記ダンピング手段におけるダンピング係数を制御するダンピング係数制御手段と、を有することを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

G12B 5/00 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平3-044593
  
• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-008193   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-158414
  
• 特開平4-181198
  

審査官引用 (4件)

• 特開平3-044593
  
• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-008193   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-158414
  
• 特開平4-181198