特許

J-GLOBAL ID：200903086940782845

基板処理装置

発明者： 国広 卓生
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-167109
公開番号（公開出願番号）：特開2007-335709
出願日： 2006年06月16日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：

【課題】基板を加熱することが可能であるとともに、基板を十分な回転数で回転させることができる基板処理装置を提供する。【解決手段】スピンチャック21により基板Wが保持される。スピンチャック21は、回転駆動機構136により回転可能な回転軸25の上端に固定されている。スピンチャック21の内部には、円盤形状の発熱板1が設けられている。さらに、発熱板1の上面に密着するように電磁シールド板2が設けられている。スピンチャック21の下方で近接するように、円環形状を有するコイルケーシング5Sが設けられている。コイルケーシング5Sの内部には、複数のコイル4が設けられている。これらの複数のコイル4は、ハウジング41の外部に設けられたコイル電源装置5と電気的に接続されている。コイル電源装置5は複数のコイル4に所定の周波数で交流電流を供給する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、 基板を保持する基板保持手段と、 前記基板保持手段を回転させることにより、基板をその基板の表面とほぼ直交する軸の周りで回転させる基板回転機構と、 前記基板保持手段に保持された基板の一面側において交番磁界を発生する磁界発生手段と、 前記基板保持手段に保持された基板の一面に対向するように設けられ、前記磁界発生手段により発生される交番磁界を受けて電磁誘導により発熱する発熱部材と、 前記基板保持手段に保持された基板と前記発熱部材との間に設けられ、前記磁界発生手段から発生される電磁波を遮断する遮断部材とを備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/10

FI (7件)：

H01L21/306 R ,  H01L21/302 201A ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/304 651B ,  H01L21/304 651M ,  B08B3/02 B ,  B08B3/10 Z

Fターム (17件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201BB13 ,  3B201BB22 ,  3B201BB82 ,  3B201BB90 ,  3B201BB93 ,  3B201BB96 ,  3B201CC13 ,  5F004BB24 ,  5F004BB26 ,  5F004DA20 ,  5F043DD13 ,  5F043EE08 ,  5F043EE10 ,  5F043EE35

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板表面処理方法および基板表面処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-265713   出願人：大日本スクリーン製造株式会社