特許
J-GLOBAL ID：200903086947961435
熱線式流速センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-004192
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206134
出願日： 1999年01月11日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】測定流速レンジが広く、且つ低速域での検出精度が高い流速センサを提供する。【解決手段】本発明の流速センサは、熱線Rhの両側に高流速域用の一対の温度センサ線Ru1,Rd1を配置し、更にその外側に低流速域用の一対の温度センサ線Ru2,Rd2を配置し、それぞれの温度センサ線対を利用して、流速を検出する。外側の温度センサ線対Ru2,Rd2により低流速域での流速を分解能高く測定し、内側の温度センサ線対Ru1,Rd1により高流速域での流速を測定することで、低流速域で分解能(精度)が高く、且つ広いレンジにわたり流速を測定することができる。
請求項（抜粋）：
所定の電流を供給される熱線と、前記熱線の両側であって第1の距離の位置に配置された第1及び第2の温度センサ線と、前記熱線の両側であって前記第1の距離より大きい第2の距離の位置に配置された第3及び第4の温度センサ線とを有し、前記第3及び第4の温度センサ線から第1の流速範囲内の流速を検出し、前記第1及び第2の温度センサ線から前記第1の流速範囲よりも広い第2の流速範囲内の流速を検出することを特徴とする流量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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流量センサ
公報種別：公表公報
出願番号：特願平8-527182
出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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