流量センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-527182
公開番号（公開出願番号）：特表平10-500490
出願日： 1996年03月09日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：

【要約】ヒーター(2)がダイヤフラム(1)上に配置されている流量センサが提案される。ヒーターの各側には温度センサ(3、4)が設けられている。さらにヒータ(2)の各側には別の温度センサ(5、6)が設けられており、この温度センサは接続抵抗(7)によって接続されている。

請求項（抜粋）：

測定素子を有する流量センサであって、前記測定素子がダイヤフラム(1)と、ダイヤフラム(1)上に抵抗層を有し、該抵抗層から少なくとも1つのヒータ(2)と、該ヒーター(2)の両側に温度センサ(3、4)が切り出し成形される形式の流量センサにおいて、接続抵抗(7)が設けられており、該接続抵抗は別の2つの温度センサ(3,4)を相互に接続し、前記別の温度センサ(3,4)と接続抵抗(7)とはダイヤフラムに載置されており、前記別の温度センサ(3,4)と接続抵抗(7)とは抵抗層から切り出し成形されている、ことを特徴とする流量センサ。

引用特許：

出願人引用 (4件)

流量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-180089 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
フローセンサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-282042 出願人：トキコ株式会社
フローセンサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-021481 出願人：富士電機株式会社

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審査官引用 (4件)

流量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-180089 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
流体フローセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-064468 出願人：富士電機株式会社
フローセンサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-282042 出願人：トキコ株式会社

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