特許
J-GLOBAL ID：200903086960998178
アイソレータ装置のグローブ機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 喜多男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161321
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343479
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】 シールド性が高いアイソレータ装置のグローブ機構を提供する。【解決手段】 アイソレータ装置1に取り付ける作業グローブ30を外側被覆片31と内側被覆片32とからなる二層構造として、両被覆片31,32の隙間40の圧力をアイソレータ装置1内部に比して陰圧となるように制御した。このため、グローブの固着部から汚染空気が装置内へ漏出することがなく、アイソレータ装置内を無菌・無塵状態に保つことができる。
請求項（抜粋）：
アイソレータ装置に取り付ける作業グローブを外側被覆片と内側被覆片とからなる二層構造として両被覆片の基端を、装置筐体に形成した作業孔の内周縁に気密的に固着するとともに、両被覆片の隙間に圧力制御管路を接続して、該隙間内を、圧力制御管路により減圧し、該隙間の圧力をアイソレータ装置内部に比して陰圧となるように制御したことを特徴とするアイソレータ装置のグローブ機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 21/02
, H01L 21/02 D
