特許
J-GLOBAL ID：200903086988049970
導波型光デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-296715
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142567
出願日： 1996年11月08日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 エアギャップを設けることにより、マイクロ波減衰を低減できる導波型光デバイスを提供する。【解決手段】 光導波路を形成した結晶基板上、信号電極及び接地電極を形成すると共に、基板を誘電体基板に取り付け、更に、誘電体基板を金属基板に取り付けた構造を有する導波型光デバイスにおいて、信号電極及び接地電極の下部に位置する誘電体基板及び金属基板の少くとも一方にエアギャップを形成する溝を設けた導波型光デバイスが得られる。
請求項（抜粋）：
電気光学効果を有する結晶基板と、前記結晶基板に設けられた少なくとも1つの導波路と、所定の誘電率を有するバッファ層と、1つの信号電極と少なくとも1つの接地電極とによって構成された電極群と、前記結晶基板の下に設けられた誘電体基板と、前記誘電体基板の下に設けられた金属基板とを備えた導波型光デバイスにおいて、前記誘電体基板と前記金属基板との少なくとも誘電体基板の前記信号電極の下部に相当する領域には、溝が形成されていることを特徴とする導波型光デバイス。
引用特許：
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