特許

J-GLOBAL ID：200903086997947379

熱交換効果を利用した走査型プローブ顕微鏡装置におけるアプローチ方法及びカンチレバー

発明者： 白川部 喜春 ,  高橋 寛 ,  清水 信宏 ,  安室 千晃 ,  新井 正
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-168908
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356644
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 試料に対しカンチレバーの探針を精度よくアプローチ可能とすること。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡装置においてカンチレバー1の探針4を試料表面にアプローチさせるため、カンチレバー1に熱センサ23を組み込んでおき、カンチレバー1が試料に接近するにつれて生じる両者間の熱交換情報を熱センサ23からの出力信号を用いて得、この熱交換情報によってカンチレバー1と試料との間の距離を制御するようにした。

請求項（抜粋）：

走査型プローブ顕微鏡装置においてカンチレバーの探針を試料表面にアプローチさせるためのアプローチ方法において、前記カンチレバーに熱センサを組み込んでおき、前記カンチレバーが前記試料に接近するにつれて生じる両者間の熱交換情報を前記熱センサからの出力信号を用いて得、該熱交換情報によって前記カンチレバーと前記試料との間の距離を制御するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置におけるアプローチ方法。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34

FI (2件)：

G01N 37/00 U ,  G01B 7/34 Z

Fターム (20件)：

2F063AA23 ,  2F063AA43 ,  2F063CA28 ,  2F063CA40 ,  2F063DA01 ,  2F063DB01 ,  2F063DB06 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB05 ,  2F063EB07 ,  2F063EB15 ,  2F063EC01 ,  2F063EC03 ,  2F063EC06 ,  2F063EC26 ,  2F063JA09 ,  2F063KA01 ,  2F063LA03 ,  2F063ZA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-261902
  
• 表面電位読み取り装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-310853   出願人：大日本印刷株式会社