特許
J-GLOBAL ID：200903087022840235
金属中微量酸素の分析方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中路 武雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-248584
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073586
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課 題】 従来、金属中の微量酸素の分析方法および装置が種々開示されているものの、金属が純度が大になるほど表面が大気中の有機物や炭酸ガス等に汚染されるので、汚染部を完全に除去した後でないと正確な酸素定量値を得ることができない。従来法は、この点について未だ満足すべきものはなかった。【解決手段】 本発明は汚染部を除去するため、試料を不活性ガススパツタリングの予備処理を施すのを特徴とし、その後雰囲気ガスをアルゴン等の不活性ガスから分析キヤリアガスのHe雰囲気に切り換え、下方に設けた分析装置中のグラフアイトるつぼを有する予備加熱室に移し、次に公知の酸素注出温度まで昇温し、酸素をCOガスとして公知の赤外線吸収装置にて定量する。
請求項（抜粋）：
金属中微量酸素の分析方法において、試料を不活性ガス雰囲気の予備処理室に導入する段階と、前記試料に不活性ガススパツタリングを施し該試料の汚染部を除去する段階と、前記スパツタリング終了後前記予備処理室の雰囲気ガスを分析用キヤリアガスに置換する段階と、前記予備処理室内の雰囲気ガスを分析用キヤリアガスに切替えた後前記試料をグラフアイトるつぼを有する加熱室に移し酸素を分析する段階と、を有して成ることを特徴とする金属中微量酸素の分析方法。
IPC (3件)：
G01N 33/20
, G01N 1/34
, G01N 21/35
G01N 33/20 J
, G01N 1/34
, G01N 21/35 Z
