特許
J-GLOBAL ID：200903087047617557
ウエハの位置合わせ装置および位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-199262
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037967
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 簡単な機構でしかも短時間に位置合わせを行えるウエハの位置合わせ装置と位置合わせ方法を提供すること。【構成】 ウエハ10の収納位置とステージ4との間に少なくとも3つのセンサー51から成るセンサー群5を設けた位置合わせ装置1であり、ウエハ10を移動する間にウエハ10の周縁部の位置を検出し、この検出位置に基づいて演算部7によりウエハ10の中心位置を算出し、算出したウエハ10の中心位置に基づき位置補正機構8によりステージ4の中心をウエハ10の中心位置に位置合わせし、回転用モータ9を用いてウエハ10を回転させてオリフラ11を一定方向に合わせるようにした位置合わせ方法である。
請求項（抜粋）：
ウエハを収納位置からステージ上に移載して該ウエハの中心位置を検出するとともに、該ウエハのオリエンテーションフラットの方向を合わせるウエハの位置合わせ装置において、前記ウエハを前記収納位置から取り出して前記ステージ上まで移載するための移載手段と、前記収納位置と前記ステージとの間に設けられた少なくとも3つのセンサーから成り、該3つのセンサーが前記ウエハに対して平行な面内でかつ該ウエハの移動方向に対して垂直な方向に少なくとも前記オリエンテーションフラットの長さよりも広い間隔をもってそれぞれ配置されたセンサー群と、前記ウエハの移動により前記3つのセンサーが該ウエハの周縁部を検出した際における該ウエハの移動方向における基準位置に対する検出位置を算出し、該検出位置に基づいて前記ウエハの中心位置を算出する演算手段と、前記ウエハが前記ステージ上まで到達した状態で、前記算出手段により算出した前記中心位置に該ステージの中心を位置合わせするための位置補正手段と、前記ステージ上に前記ウエハを載置した状態で該ウエハを回転させ前記オリエンテーションフラットを一定方向に合わせるための回転手段とから成ることを特徴とするウエハの位置合わせ装置。
引用特許：
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