反射防止膜を有する光学部材

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-171837
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073702
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】高温状態でもクラックが発生しにくく、且つ優れた反射防止性能を持った反射防止膜を有する光学部材を提供する。【解決手段】合成樹脂基板上に、少なくとも、酸化タンタル(Ta2O5)と酸化チタン(TiO2)との混合膜と、前記混合膜より屈折率の低い低屈折率膜とを有する反射防止膜を設けたことを特徴とする反射防止膜を有する光学部材である。

請求項（抜粋）：

合成樹脂基板上に、少なくとも、酸化タンタル(Ta2O5)と酸化チタン(TiO2)との混合膜と、前記混合膜より屈折率の低い低屈折率膜とを有する反射防止膜を設けたことを特徴とする反射防止膜を有する光学部材。

IPC (4件)：

G02B 1/11 , B32B 7/02 103 , B32B 9/00 , C23C 14/08

FI (4件)：

G02B 1/10 A , B32B 7/02 103 , B32B 9/00 A , C23C 14/08 N

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-129301
光学素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-230956 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-156501

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