光ファイバ固定基板、光モジュール、及び光ファイバ固定基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-224176
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038274
出願日： 1997年07月16日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】光ファイバを確実に整列固定できる光ファイバ固定基板、及びその固定基板を迅速かつ容易に製造できる製造方法と、それを利用した光モジュールを提供する。【解決手段】素線部とこの素線部を覆う被覆部を有する光ファイバを整列固定するために、素線部を固定する第1の溝と、この溝に連続し被覆部を固定する第2の溝を有し、第1及び第2の溝をシリコンの異方性エッチングにより形成してなる光ファイバ固定基板を構成し、この固定基板を用い、第1の溝に固定された素線部、第2の溝に固定された被覆部を有する光ファイバ、光ファイバ固定基板上に設置され光ファイバの素線部の端面に対向する発光端もしくは受光端を有する光素子、からなる光モジュールを構成する。

請求項（抜粋）：

素線部とこの素線部を覆う被覆部を有する光ファイバを整列固定するための光ファイバ固定基板であって、a)前記素線部を固定する第1の溝と、この第1の溝に連続し前記被覆部を固定する第2の溝を有し、b)前記第1及び第2の溝をシリコンの異方性エッチングにより形成してなる、ことを特徴とする光ファイバ固定基板。

IPC (3件)：

G02B 6/36 , G02B 6/255 , G02B 6/42

FI (3件)：

G02B 6/36 , G02B 6/42 , G02B 6/24 301

引用特許：

審査官引用 (5件)

光送受信装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-320660 出願人：日本電気株式会社
半導体レーザモジュールの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-318286 出願人：富士通株式会社
特開平3-256011

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