特許
J-GLOBAL ID:200903087072842190
刻印検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三好 千明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-243488
公開番号(公開出願番号):特開2008-064637
出願日: 2006年09月08日
公開日(公表日): 2008年03月21日
要約:
【課題】全数検査を可能とすることができる刻印検査装置を提供する。【解決手段】ステージ63をレール64に沿って移動しながら、スリット光31をワーク11の幅方向へライン状に照射しつつ、刻印面2に照射されたスリット光31を第1及び第2CCDカメラ41,42で撮像して制御装置71に取り込む。制御装置71は、両CCDカメラ41,42で撮像されたスリット光31の撮像位置101とステージ63の移動位置とに基づいて刻印面2の三次元情報を演算する。そして、三次元情報が有する深さデータの変化を、深さに応じて濃くなる濃度の変化に変換して濃度画像を生成し、この濃度画像を用いて検査を行う。【選択図】図1
請求項(抜粋):
平坦な刻印面に刻印された刻印部を検査する刻印検査装置において、
前記刻印部を含む前記刻印面にスリット光をライン状に照射するスリット光照射手段と、
前記スリット光の照射位置を挟む位置に配置され、前記刻印面に照射された前記スリット光を撮像する複数のカメラと、
前記スリット光照射手段及び前記各カメラを前記スリット光が描くラインと直交する方向へ移動するステージと、
該ステージの移動位置及び前記各カメラで撮像された前記スリット光の撮像位置に基づいて前記刻印面の三次元情報を取得する三次元情報取得手段と、
前記三次元情報が有する深さデータの変化を、深さに応じて濃くなる濃度の変化に変換して濃度画像を生成する濃度画像生成手段と、
を備えたことを特徴とする刻印検査装置。
IPC (3件):
G01B 11/24
, G06T 1/00
, G01B 11/22
FI (3件):
G01B11/24 K
, G06T1/00 315
, G01B11/22 H
Fターム (34件):
2F065AA25
, 2F065AA53
, 2F065CC00
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF09
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065MM07
, 2F065PP02
, 2F065QQ03
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ42
, 2F065SS02
, 2F065SS03
, 2F065SS13
, 5B057BA02
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CD14
, 5B057CE17
, 5B057DA03
, 5B057DB02
引用特許: