サンプル保持機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-121976
公開番号（公開出願番号）：特開2009-272464
出願日： 2008年05月08日
公開日（公表日）： 2009年11月19日
要約：

【課題】本発明の目的は、基板サンプルをサンプル保持機構に装着したままの状態で、例えば、2枚の基板サンプルの貼合せ接合のための圧着操作に移行しても、サンプル保持機構の存在がなんら障害にならないサンプル保持機構を提供することにある。【解決手段】板状枠体とプッシングユニットとで基板サンプルの保持機構を構成し、板状枠体で囲まれる領域に基板サンプルを保持し、基板サンプルの外周縁部端面のみを保持機構と接触させて保持する。サンプル保持機構の厚みを保持すべき基板サンプルよりも薄くすることにより、基板サンプルをサンプル保持機構に装着したままの状態で圧着操作に移行しても、サンプル保持機構の存在がなんら障害にはならない。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板状枠体とプッシングユニットとで構成され、板状枠体で囲まれた領域にプッシングユニットによって基板サンプルを保持するためのサンプル保持機構であって、前記プッシングユニットは、一端が閉じられたシリンダーと、シリンダー内に収容されたバネ体と、シリンダー内で摺動・回転可能であってシリンダーの開放端から突き出るピストン先端にV字溝又は十字型V字溝を持つピストンとで構成され、ピストンによるバネ体の圧縮が始まる時点においては、シリンダーの開放端からピストンの一部が所定長さだけ突き出ている構造であって、前記ピストンが摺動する軸方向線と前記板状枠体の表面(又は裏面)とが平行、かつ、前記板状枠体で囲まれた領域にピストンの所定長さを突き出した状態でプッシングユニットの一部又は全部を板状枠体に3個以上埋設・固定し、前記プッシングユニットが有するバネ体の復元力によりピストンの先端で基板サンプルの外周縁部端面を押圧することによって基板サンプルを保持し、また、基板サンプルの各外周縁部端面を押圧する力の総和(ベクトル和)と基板サンプルに作用する偶力の総和(ベクトル和)が、ともに零となるような位置に前記プッシングユニットを配置し、さらに、前記板状枠体で囲まれた領域中に装着された前記基板サンプルの表面を含む仮想平面と基板サンプルの裏面を含む仮想平面とで規定される二つの仮想平面で挟まれた領域の中に板状枠体(プッシングユニットを含む)が収まっていることを特徴とするサンプル保持機構。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (4件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA24 , 5F031HA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

陽極接合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-329145 出願人：日産自動車株式会社

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