特許

J-GLOBAL ID：200903087135719270

ブレード変位検出装置

発明者： 関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336703
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177973
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【課題】本発明は、半導体ウェーハ等の薄板体を切削精密切削装置に装着されるブレードの変位を高精度に検出する検出装置に関する。【解決手段】発光部と受光部とが対向して配設され、そこに進入したブレードの遮光によって該ブレードの変位を検出するブレード変位検出装置27であって、前記受光部には、所定の基準位置までブレードが移動し光域内の光を不完全に遮光した際のブレードのシルエットの形状を撮像する撮像手段21と、該撮像手段によって生成される電気信号をデジタル信号に変換するA/D変換手段22と、デジタル変換されたブレードの形状データを記憶するフレームメモリー23と、画像処理によってブレードの頂点の位置を検出する頂点検出手段24と、検出されたブレードの頂点の位置をもとにブレードの変位量を算出するブレード変位算出手段26と、を少なくとも含むものである。

請求項（抜粋）：

発光部と受光部とが、所定の間隔及び広域をもって対向して配設され、該所定間隔内に進入したブレードの前記光域の遮光によって該ブレードの変位を検出するダイサー等の精密切削装置に配設されるブレード変位検出装置であって、前記受光部には、所定の基準位置までブレードが移動し前記光域内の光を不完全に遮光した際のブレードのシルエットの形状を撮像する撮像手段と、該撮像手段によって生成される電気信号をデジタル信号に変換するA/D変換手段と、デジタル変換されたブレードの形状データを記憶するフレームメモリーと、画像処理によってブレードの頂点の位置を検出する頂点検出手段と、検出されたブレードの頂点の位置をもとにブレードの変位量を算出するブレード変位算出手段と、を少なくとも含むことを特徴とするブレード変位検出装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  B28D 5/02

FI (2件)：

H01L 21/78 C ,  B28D 5/02 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-187596   出願人：セイコー精機株式会社