特許
J-GLOBAL ID：200903089358878187
ダイシング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-187596
公開番号（公開出願番号）：特開平8-052733
出願日： 1994年08月09日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 刃具の位置決めを正確かつ効率的に行うことができるダイシング装置を提供する。【構成】 レーザ発光体42から出射されたレーザ光は、プリズム44で反射して顕微鏡37に入射する。顕微鏡37でとらえた像は、CCDカメラで撮像されると共に、画像処理装置で処理される。NC装置による位置制御で、ブレード27の刃先をレーザ光の照射領域内の所定の基準点に位置決めすると、CCDカメラでは、ブレード27の投影像が撮像される。この撮像されたブレード27の投影像から画像処理装置は、基準点に対するブレード27の位置ずれを検出する。そして、この位置ずれに応じてNC装置は、認識しているブレード27の位置を補正する。
請求項（抜粋）：
回転する円盤状の刃具で半導体ウエハを切断するダイシング装置において、前記刃具の位置を認識すると共に、前記刃具を所定の位置に移動させる位置制御手段と、前記刃具の下端部をその接線方向から撮像する撮像手段と、この撮像手段によって撮像された前記刃具の像から、前記刃具の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段で検出された前記刃具の位置と、前記位置制御手段が認識している前記刃具の位置とのずれを補正する位置補正手段とを具備することを特徴とするダイシング装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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