特許

J-GLOBAL ID：200903087138284410

微細加工光-流量ガスセンサ

発明者： アルリッチ,ボン ,  コール,バレット・イー ,  ヒガシ,ロバート・イー
出願人/特許権者： ハネウエル・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 山川 政樹 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-547390
公開番号（公開出願番号）：特表2001-522463
出願日： 1998年04月29日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：

【要約】高速に強度が変動または脈動する光源(14)、干渉フィルタ(16)、特定の波長の光または音周波数に同調された光および/または音響共振器でも、そうでなくてもよく、検出されるガスがフィルタ(22)を介してその中に拡散することができるガス・キャビティ(20)、および感知される特定のガスによる特定の波長での光の吸収によるガスの加熱と冷却および結果的な膨張と収縮を検出する流体または圧力センサ(19)を有する微細加工集積光-流体または光-音響センサ(10)。他のガスの存在が検出されたガスから推定される。

請求項（抜粋）：

放射線を供給する手段と、 前記放射線を供給する手段のすぐ近くの放射線をフィルタに通す手段と、 前記放射線をフィルタに通す手段のすぐ近くのガスまたは液体を含む手段と、 前記ガスまたは液体を含む手段のすぐ近くの、ガスまたは液体が前記ガスまたは液体を含む手段に入りまたはそこから出ること可能にする第1の手段と、 前記ガスまたは液体を含む手段のすぐ近くの、ガスまたは液体が前記ガスまたは液体を含む手段に入りまたはそこから出ること可能にする第2の手段と、 前記ガスまたは液体がガスまたは液体を含む手段に入りまたはそこから出ることを可能にする第2の手段のすぐ近くの、前記ガスまたは液体を含む手段に入りまたはそこから出るガスまたは液体の流れの速度を検出する手段とを含むガスまたは液体を感知する手段。

IPC (2件)：

G01N 21/03 ,  G01N 21/37

FI (2件)：

G01N 21/03 B ,  G01N 21/37

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 赤外線検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-172188   出願人：ヴァイサラオイ
• 赤外線ガス分析計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-267681   出願人：株式会社堀場製作所
• 光音響ガスセンサおよびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-232223   出願人：ツェルベルス・アクチェンゲゼルシャフト