表面特性評価装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-343677
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185802
出願日： 1996年12月24日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】試料表面の凝着力を精度よく測定する。【解決手段】ばね8は両端が支持体7のばね固定部7aに固定されており、試料5の測定面5aに対面する位置に配設されている。ばね8の測定面5aに対向する面の中心部に、圧子9が設けられている。

請求項（抜粋）：

試料の測定面に対面して配置され、前記測定面に垂直な方向に弾性変形可能に固定されたばね部材と、前記ばね部材の前記測定面に対向する面に設けられた圧子と、前記測定面に垂直な方向の前記圧子の変位を検出する変位検出手段とを有する表面特性評価装置において、前記ばね部材は両端部が支持され、前記圧子は前記ばね部材の中心部に設けられていることを特徴とする表面特性評価装置。

IPC (2件)：

G01N 19/04 , G01N 3/40

FI (2件)：

G01N 19/04 Z , G01N 3/40 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-281125
特開平3-238342
微小表面硬度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-302560 出願人：科学技術庁金属材料技術研究所長

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