特許
J-GLOBAL ID：200903087162097966
感光性ペースト
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-214871
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052561
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にすると共に、焼成して形成される隔壁の着色や剥がれなどの欠陥を解消することができる感光性ペーストを提供する。【解決手段】ガラス微粒子と感光性有機成分とを必須成分とする感光性ガラスペーストにおいて、ガラス微粒子が、光反応により形成される感光性有機成分の硬化物の熱重量分析で減量率が80%に達する温度よりも10°C以上高いガラス転移点を有し、かつガラス軟化点が570°C以下であることを特徴とする感光性ペーストとする。
請求項（抜粋）：
ガラス微粒子と感光性有機成分とを必須成分とする感光性ガラスペーストにおいて、ガラス微粒子が、光反応により形成される感光性有機成分の硬化物の熱重量分析で減量率が80%に達する温度よりも10°C以上高いガラス転移点を有し、かつガラス軟化点が570°C以下であることを特徴とする感光性ペースト。
IPC (8件)：
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/004 505
, C03C 8/14
, C08K 3/40
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, H01J 9/02
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 Z
, G03F 7/004 505
, C03C 8/14
, C08K 3/40
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, H01J 9/02 F
