特許
J-GLOBAL ID:200903087210814420
結晶成長装置および結晶成長法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-327749
公開番号(公開出願番号):特開平11-157988
出願日: 1997年11月28日
公開日(公表日): 1999年06月15日
要約:
【要約】【課題】 均一な結晶を高速成長させる結晶成長装置および結晶成長法を提供するすることを目的とする。【解決手段】 成長室10a内に基材を設置し、高温に加熱された成長室10a内で反応ガスの乱流を起こさないよう、成長室10aの下部より反応ガスを高密度に供給する。
請求項(抜粋):
内部に基材を設置する空間を有する成長室と、成長室を覆う筐体と、成長室を加熱する加熱装置と、成長室および筐体にガスを供給するガス供給系と、成長室および筐体を排気する排気系を具備し、成長室の下部よりガスを供給することを特徴とする結晶成長装置。
IPC (4件):
C30B 25/08
, C23C 16/44
, C30B 29/36
, H01L 21/205
FI (4件):
C30B 25/08
, C23C 16/44
, C30B 29/36 A
, H01L 21/205
引用特許:
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