特許
J-GLOBAL ID：200903087215368215
容量型力学量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-130793
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361394
出願日： 2004年04月27日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】 低コストで小型な容量型力学量センサの提供。【解決手段】 下ガラス板の容量検出電極を、上ガラス板に設けたスルーホールと半田ボールを用いて、上ガラス板外面まで導通することにより、外部基板に接続するための電極を上ガラス板の外面上に集約し、外部基板に直接実装できるようにする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
力学量をうけて変位する錘を有したシリコン板と、
前記シリコン基板を前記錘が形成された下面側から支持するための第一の板と、
前記シリコン基板を上面から支持するための第二の板と
静電容量変動差により前記錘の変位を検出するため前記第一の板に形成された第一の容量検出電極と、
静電容量変動差により前記錘の変位を検出するため前記第二の板に形成された第二の容量検出電極と、
前記第二の板を上下に貫通するように形成された第1の電極と、
前記第二の板を上下に貫通するように形成され、前記第二の容量検出電極と接続された第2の電極と、
前記第1の電極と前記第1の容量検出電極とを電気的に接続するための半田と、を有することを特徴とする容量型力学量センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
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加速度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-079373
出願人：オムロン株式会社
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