多層膜反射鏡

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-192639
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038192
出願日： 1997年07月17日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】反射率が低下することなく、成膜装置に依存することなく、内部応力が低減した多層膜反射鏡を提供すること。【解決手段】基板1上に、モリブデン(Mo)を主成分とする第1の層2と、シリコン(Si)を主成分とする第2の層3とを交互に積層してなる多層膜反射鏡において、前記第2の層3にボロン(B)を含有させ、その含有濃度を調整することにより、多層膜の内部応力を制御していることを特徴とする多層膜反射鏡。

請求項（抜粋）：

基板上に、モリブデン(Mo)を主成分とする第1の層と、シリコン(Si)を主成分とする第2の層とを交互に積層してなる多層膜反射鏡において、前記第2の層にボロン(B)を含有させ、その含有濃度を調整することにより多層膜の内部応力を制御していることを特徴とする多層膜反射鏡。

引用特許：

審査官引用 (3件)

多層膜分光反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-050797 出願人：日本電信電話株式会社
特開平3-115898
特開平2-056000

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