漏洩試験方法および漏洩試験装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅見保男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-209018
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033343
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】他の被検体からのトレーサガスの影響を受けることなく、漏れの判定を行いながら、真空チャンバー内の被検体を他の被検体に交換できるようにする。【解決手段】本発明の漏洩試験方法は、トレーサガスが充填された被検体Xを真空チャンバ10内に収納する収納工程と、真空チャンバ10内を真空ポンプ20により真空にする真空工程と、真空チャンバ20内が予め設定された所定の真空度に達したら真空チャンバ10と真空ポンプ20との間に形成された隔室30と真空ポンプ20との間の連通を遮断するとともに、隔室30とガス検出器40との間を連通させて被検体Xから漏れ出たトレーサガスをガス検出器40に連通させる連通工程と、真空チャンバ10と隔室30との間を遮断する遮断工程と、真空チャンバ10内を大気に連通させるとともに、被検体Xを他の被検体に交換する交換工程とを備えるようにしている。

請求項（抜粋）：

被検体内に充填されたトレーサガスが同被検体より漏洩しているか否かあるいは許容限度以上の漏洩であるか否かの判定を行う漏洩試験方法であって、前記トレーサガスが充填された被検体を真空チャンバ内に収納する収納工程と、前記真空チャンバ内を真空ポンプにより前記被検体よりも減圧にする減圧工程と、前記真空チャンバ内が予め設定された所定の圧力に達したら前記真空チャンバと前記真空ポンプとの間に形成された隔室と前記真空ポンプとの間の連通を遮断するとともに、前記隔室とガス検出器との間を連通させて前記被検体から漏れ出たトレーサガスを前記隔室を介して前記ガス検出器に連通させる連通工程と、前記真空チャンバと前記隔室との間を遮断する遮断工程と、前記被検体を他の被検体に交換する交換工程とを備えるようにしたことを特徴とする漏洩試験方法。

Fターム (3件)：

2G067BB31 , 2G067BB38 , 2G067CC11

引用特許：

審査官引用 (1件)

漏れ試験装置及び漏れ試験方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-285490 出願人：ティーアールダブリュー・ヴィークル・セーフティ・システムズ・インコーポレーテッド

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