特許

J-GLOBAL ID：200903087252611154

薄膜状発光素子の製造方法

発明者： 長瀬 智美 ,  槇田 洋二 ,  大家 利彦 ,  中西 洋一郎 ,  小南 裕子
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 阿形 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-196828
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079518
出願日： 2003年07月14日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】高温における加熱処理を必要としないで、高輝度及び高発光効率の酸化亜鉛薄膜が形成された、かつ軽量化、色純度が向上した発光素子を提供する。【解決手段】基板上に、100°C以下の温度において酸化亜鉛微粒子からなる前駆体膜を形成させたのち、100°C以下の基板温度で、この酸化亜鉛微粒子のバンドギャップよりも高いエネルギーを有し、かつ5〜500mJ/cm2の範囲内のエネルギー密度をもつ活性線を、得られた酸化亜鉛薄膜が電子線又は紫外線照射により青緑色発光を生じるまで照射することにより薄膜状発光素子を製造する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

基板上に、100°C以下の温度において酸化亜鉛微粒子からなる前駆体膜を形成させたのち、100°C以下の基板温度で、この酸化亜鉛微粒子のバンドギャップよりも高いエネルギーを有し、かつ5〜500mJ/cm2の範囲内のエネルギー密度をもつ活性線を、得られた酸化亜鉛薄膜が電子線又は紫外線照射により青緑色発光を生じるまで照射することを特徴とする薄膜状発光素子の製造方法。

IPC (2件)：

H01J9/22 ,  G09F9/00

FI (2件)：

H01J9/22 S ,  G09F9/00 338

Fターム (13件)：

4H001CA02 ,  4H001CF01 ,  4H001XA08 ,  4H001XA30 ,  5C028AA01 ,  5C028AA10 ,  5C028HH12 ,  5G435AA17 ,  5G435BB01 ,  5G435CC12 ,  5G435GG12 ,  5G435HH06 ,  5G435KK05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特許第3032827号
  
• 特許第3032827号
  
• 蛍光体の製造方法及びプラズマディスプレイパネル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-183708   出願人：富士通株式会社
• 蛍光体とその製造方法、薄膜の製造装置、およびEL素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-113671   出願人：ティーディーケイ株式会社, 三浦登