特許

J-GLOBAL ID：200903087262534620

構造化研磨物品並びにその製造及び使用方法

発明者： エドワード・ジェイ・ウー ,  クレイグ・エフ・ランフィア ,  グレゴリー・エイ・コーンル
出願人/特許権者： スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
代理人 (5件)： 田中 光雄 ,  山田 卓二 ,  山本 宗雄 ,  西下 正石 ,  後藤 裕子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-507867
公開番号（公開出願番号）：特表2009-535225
出願日： 2007年03月22日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
要約：

裏材と、該裏材に添着された構造化研磨層とを含み、該構造化研磨層が、各隆起研磨領域が、本質的に、複数の稠密角錐研磨材複合物からなる複数の隆起研磨領域;及び連続的に隣接し、該隆起研磨領域を互いに分離し、本質的に稠密切頭角錐研磨材複合物からなる網状組織を含む、構造化研磨物品。角錐研磨材複合物の高さは、切頭角錐研磨材複合物の高さより高い。その製造及び使用方法も開示する。

請求項（抜粋）：

対向する第一及び第二主要面を有する裏材と、 外部境界を有し、前記裏材の第一主要面に添着された構造化研磨層であって、 各隆起研磨領域が、本質的に、第一高さを有する稠密角錐研磨材複合物からなる複数の隆起研磨領域と、 本質的に、第二高さを有する稠密切頭角錐研磨材複合物からなる網状組織であって、連続的に隣接し、前記隆起研磨領域を互いに分離し、前記外部境界と同一の広がりを持つ前記網状組織と、を含み、 前記角錐研磨材複合物及び前記切頭角錐研磨材複合物がそれぞれ研磨粒子及び結合剤を含み、前記第一高さが前記第二高さより高い構造化研磨層と、を含む、構造化研磨物品。

IPC (1件)：

B24D 11/00

FI (2件)：

B24D11/00 B ,  B24D11/00 Q

Fターム (6件)：

3C063AA06 ,  3C063AB07 ,  3C063BA02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB04 ,  3C063BC03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウエハを研磨するための窓システムを有する研磨物品および方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-545888   出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
• CMP用研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-245793   出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー