超臨界流体洗浄方法及び超臨界流体洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018772
公開番号（公開出願番号）：特開平11-216437
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】無機コンタミネーション等の超臨界流体中に溶け込むことのできない物質を除去できる超臨界流体洗浄方法及び超臨界流体洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】洗浄槽21内に、複数の方向に向けて超臨界流体を送液する流路形成部材1が形成されている。制御回路38は、洗浄工程中に、洗浄槽21内に超臨界流体の流れが生じるように、仕切り弁31,33及び調圧弁37を制御することで、超臨界流体の洗浄槽21内への送液と洗浄槽21から分離槽22への排液を調整する。また、制御回路38は、洗浄工程中に、洗浄槽21内の超臨界流体を分離槽22に排出することで洗浄槽21内の超臨界流体を急速減圧させる。

請求項（抜粋）：

洗浄槽内で、被洗浄物を超臨界流体に接触させて洗浄する超臨界流体洗浄方法において、1回の洗浄工程中に、前記洗浄槽内の圧力の上昇及び急速減圧を複数回繰り返すことを特徴とする超臨界流体洗浄方法。

IPC (3件)：

B08B 7/00 , B08B 3/02 , H01L 21/304 642

FI (3件)：

B08B 7/00 , B08B 3/02 A , H01L 21/304 642 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

珪藻土の高純度化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-154505 出願人：三菱マテリアル株式会社
特開平1-170026
減圧-加圧発泡洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-100472 出願人：株式会社山崎精機研究所

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