特許
J-GLOBAL ID：200903087287298211
アルカリ可溶性シロキサン重合体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-062750
公開番号（公開出願番号）：特開平9-249749
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】【課題】 合成や分子量制御が容易であり、かつ、レジスト材料として好適な、高解像性で、高エッチング耐性を有する、アルカリ可溶性のSi含有ポリマを提供する。【解決手段】 下記一般式で表されるアルカリ可溶性シロキサン重合体。【化1】〔上式中、Rはシロキサンポリマ残基を表し、R1 およびR2 はそれぞれ独立に-Hまたは一価の有機基を表し、R3 およびR4 はそれぞれ独立に-H,-Clまたは一価の有機基を表し、R5 はそれぞれ独立に-Hまたは一価の有機基を表し(ただし、基R5 の50%以上が-Hであるものとする)、mは1〜3の整数であり、nは1または2であり、aおよびbは1以上の整数である〕
請求項（抜粋）：
下記一般式(A)で表されるアルカリ可溶性シロキサン重合体。【化1】〔上式中、Rはシロキサンポリマ残基を表し、R1 およびR2 はそれぞれ独立に-Hまたは一価の有機基を表し、R3 およびR4 はそれぞれ独立に-H,-Clまたは一価の有機基を表し、R5 はそれぞれ独立に-Hまたは一価の有機基を表し(ただし、基R5 の50%以上が-Hであるものとする)、mは1〜3の整数であり、nは1または2であり、aおよびbは1以上の整数である〕
IPC (2件)：
C08G 77/52 NUM
, G03F 7/075 511
C08G 77/52 NUM
, G03F 7/075 511
