特許

J-GLOBAL ID：200903087297273055

TOC濃度の分析方法

発明者： 老沼 正芳
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-209070
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051930
出願日： 1997年08月04日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 試料水中の有機物をUV酸化分解して試料水のTOC濃度を分析する方法において、難UV分解性物質をも効率的に分解し、試料水のTOC濃度を数ppbレベルで正確に測定する。【解決手段】 試料水に臭化アルカリを添加した後UV照射することにより、試料水中の難UV分解性物質である尿素を完全に分解し、高純度水中のTOCをほぼ完全に検出、分析する。

請求項（抜粋）：

試料水に紫外線を照射して該試料水中の有機物を酸化分解する工程を有するTOC濃度の分析方法において、該試料水に臭化アルカリを添加した後紫外線を照射することを特徴とするTOC濃度の分析方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平4-507141
  
• 超純水製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-196558   出願人：栗田工業株式会社

引用文献：

審査官引用 (4件)

• “OXIDATION OF REFRACTORY ORGANICS WITH ULTRAVIOLET RADIATION”
• "New Technology For TOC Analysis In Water."
• " Application Of TOC Monitoring In SemiconductorManufacturing."
• " Application Of TOC Monitoring In Semiconductor Manufacturing."