特許
J-GLOBAL ID：200903087303483903
剥離液組成物および剥離洗浄方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088577
公開番号（公開出願番号）：特開平7-295239
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【構成】 本発明の剥離液組成物は、4-メトキシ-1-ブタノールまたは/および3-メトキシ-1-ブタノールと炭酸プロピレンとにより構成され、前記剥離液組成物による剥離工程とそれに続くイオン交換水による濯ぎ洗浄工程により、フォトレジストの剥離、洗浄を行う。【効果】 剥離洗浄工程を簡素化でき、薬品使用量の削減、環境に与える負荷を低減することができる。
請求項（抜粋）：
フォトレジストの剥離に使用する剥離液組成物であって、4-メトキシ-1-ブタノールまたは3-メトキシ-1-ブタノールまたは4-メトキシ-1-ブタノールと3-メトキシ-1-ブタノールの混合物からなる溶剤と、炭酸プロピレンとから構成されることを特徴とする剥離液組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/42
, C11D 7/26
, C11D 17/00
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
, H05K 3/26
