特許

J-GLOBAL ID：200903087306544920

研磨シートおよびその製造方法

発明者： 山本 元種
出願人/特許権者： 日本ミクロコーティング株式会社
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-148752
公開番号（公開出願番号）：特開平7-328933
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】 粗研磨および仕上研磨という2段階の研磨工程を行わず、1段階の研磨工程で、被研磨物表面に波形の凹凸やスクラッチを生じさせずに精密な研磨ができる研磨シートおよびその製造方法を提供する。【構成】 本発明の研磨シートは、研磨材粒子と、可溶性固体粒子と、バインダー接着剤とを混合して成るスラリーを基板シートに塗布して成る。本発明の研磨シートの製造方法は、スラリーを製造する工程と、スラリーを基板シートに塗布する工程とから成る研磨シートの製造方法において、スラリーを製造する工程が、研磨材粒子とバインダー接着剤とを混合する工程と、研磨材粒子とバインダー接着剤とを混合した混合物に可溶性固体粒子を加えて混合する工程とから成る。【効果】

請求項（抜粋）：

基板シートにスラリーを塗布して成る研磨シートにおいて、前記スラリーが、研磨材粒子と、可溶性固体粒子と、バインダー接着剤とを混合したものであることを特徴とする、研磨シート。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭55-004552
  
• 研磨フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-036281   出願人：東京磁気印刷株式会社