特許

J-GLOBAL ID：200903087330759961

ラクトン構造を有する多環式化合物

発明者： 大篭 裕二 ,  内藤 威敏
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-109446
公開番号（公開出願番号）：特開2002-308866
出願日： 2001年04月09日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 エキシマレーザー光を光源とするフォトリソグラフィーに用いるレジスト材料のベース樹脂として好適な重合体を与える単量体を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)又は(2)で表されるラクトン構造を有する多環式化合物(R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基又はアルコキシカルボニル基を示す。R3ないしR7は、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を示す。Xはメチレン基、エチレン基、酸素原子又は硫黄原子を示す。)

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)又は(2)で表されるラクトン構造を有する多環式化合物【化1】(式中、R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基又はアルコキシカルボニル基を示す。R3ないしR7は、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を示す。Xはメチレン基、エチレン基、酸素原子又は硫黄原子を示す。)

IPC (5件)：

C07D307/93 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/28 ,  C08F 20/38

FI (5件)：

C07D307/93 ,  G03F 7/039 601 ,  C08F 20/28 ,  C08F 20/38 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (13件)：

2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  4C037UA05 ,  4J100AL08P ,  4J100BC07P ,  4J100BC60P ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (1件)

• (メタ)アクリル酸エステル、その原料アルコール、および、それらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-366958   出願人：三菱レイヨン株式会社