特許

J-GLOBAL ID：200903087406428714

回転式塗布装置

発明者： 木▲崎▼ 幸治
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345129
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171476
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：

【要約】【目的】 余剰塗布液が周囲に飛散し、周囲を汚染することを防止する。【構成】 スペーサ20にトラップ部20bが設けられているので、回転台6が回転して一定以上の遠心力が加わると、基板2からの余剰塗布液がトラップ部20bに貯留される。回転台6が減速され、遠心力が弱まると、貯留されていた余剰塗布液が周囲に飛散することなく下方へ流出する。また、洗浄液がトラップ洗浄ノズル52からトラップ部20bへ吐出されるので、トラップ部20bに残留する余剰塗布液が溶解除去される。このため、余剰塗布液がトラップ部20bに永く残留して乾燥固化するおそれがない。【効果】 トラップ部に余剰塗布液が固化しないので、トラップ部の機能が常に正常に維持される結果、余剰塗布液の飛沫が周囲を汚染することを常に防止できる。

請求項（抜粋）：

基板を回転させつつ当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置であって、前記基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、前記回転台に支持された前記基板と所定間隔を隔てた上方位置に、当該基板と平行に配置され、前記回転台と一体的に回転させられる上部回転板と、前記回転台の外周部と前記上部回転板の外周部との間に配置され、前記回転台と前記上部回転板とともに閉空間を形成し、前記回転台と一体的に回転させられるスペーサと、前記回転台が回転して一定以上の遠心力が前記基板上の塗布液に加えられると、当該基板上から飛散させられる余剰塗布液を受けて貯留するように、前記スペーサに形成されたトラップ部と、前記トラップ部へ向けて洗浄液を吐出する洗浄液ノズルと、を備える回転式塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-090249   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開平4-197468