特許
J-GLOBAL ID：200903087434340873

製膜装置及びヘッドクリーニング方法及びデバイス製造装置及びデバイス

発明者：
中村 真一

中村 真一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-073070
公開番号（公開出願番号）：特開2003-265992
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月24日
要約：
【要約】【課題】 製膜装置の各ヘッドを清掃するに際し、結果として生じる廃棄物量を低減することのできる手段の提供を課題とする。【解決手段】 ワイピングユニット70に、各ノズル面53aを拭いながら回動する無端ベルト状のワイピングシート75を備え、該ワイピングシート75を循環させながら各ノズル面53aを清掃する構成/方法を採用した。
請求項（抜粋）：
液滴を吐出する複数のヘッドと、これらヘッドの各ノズル面を清掃するヘッド清掃機構とを備えた製膜装置において、前記ヘッド清掃機構には、前記各ノズル面を拭いながら回動する無端ベルト状のワイピングシートが備えられていることを特徴とする製膜装置。
IPC (7件)：
B05B 15/02 ,  B41J 2/01 ,  B41J 2/165 ,  G02B 5/20 101 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  G02F 1/1335 505
FI (7件)：
B05B 15/02 ,  G02B 5/20 101 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  G02F 1/1335 505 ,  B41J 3/04 101 Z ,  B41J 3/04 102 H
Fターム (23件)：
2C056EA16 ,  2C056FB01 ,  2C056JB02 ,  2C056JB05 ,  2C056JB15 ,  2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H091FA04Y ,  2H091FC12 ,  2H091FC29 ,  2H091GA01 ,  2H091GA13 ,  2H091LA30 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4D073AA09 ,  4D073BB03 ,  4D073CC09 ,  4D073CC20
引用特許：
審査官引用 (5件)
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