特許
J-GLOBAL ID:200903087439168980
圧力センサ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
後呂 和男
, ▲高▼木 芳之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-286425
公開番号(公開出願番号):特開2007-093528
出願日: 2005年09月30日
公開日(公表日): 2007年04月12日
要約:
【課題】簡易な構成にて温度及び圧力の2種の物理量を検出し、出力できる圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサ10は、被検出流体の圧力を検出して1次圧力信号を出力する圧力検出素子50と、圧力検出素子50の周囲温度を検出して温度信号を出力する温度検出素子55とを有し、圧力検出素子50からの1次圧力信号と、温度検出素子55からの温度信号と、に基づき、被検出流体についての温度補償された2次圧力信号を生成するように構成されている。 さらに、2次圧力信号を外部に出力する圧力信号出力端子61と、記温度信号を外部に出力する温度信号出力端子62とが設けられている。【選択図】図4
請求項(抜粋):
被検出流体の圧力を検出して1次圧力信号を出力する圧力検出素子と、
前記圧力検出素子の周囲温度を検出して温度信号を出力する温度検出素子と、
前記圧力検出素子からの前記1次圧力信号と、前記温度検出素子からの前記温度信号と、に基づき、前記被検出流体についての温度補償された2次圧力信号を生成する生成手段と、
前記2次圧力信号を外部に出力する圧力信号出力手段と、
前記温度信号を外部に出力する温度信号出力手段と、
を備えたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01L9/00 303T
, H01L29/84 B
Fターム (15件):
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055EE11
, 2F055FF02
, 2F055GG32
, 4M112AA01
, 4M112BA01
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA07
, 4M112CA12
, 4M112CA13
, 4M112FA20
引用特許:
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