プラズマ発生電極及びプラズマ反応器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-377092
公開番号（公開出願番号）：特開2006-185715
出願日： 2004年12月27日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：

【課題】階層的に積層された複数の単位電極が、高精度かつ簡便に位置決めされてなるとともに、熱応力による歪みが有効に防止されたプラズマ発生電極を提供する。【解決手段】極性の異なる二種類の単位電極2,3のうち、同一極性である一方の極性の単位電極2が、導電性を有する板状の導電体6と、導電体6を覆うように配設されたセラミック誘電体5とを有し、この一方の極性の単位電極2のセラミック誘電体5が、セラミック誘電体5の少なくとも一方の表面の一の方向における少なくとも一方の端部に、互いに対向する単位電極2,3相互間にプラズマを発生するための放電空間4及び一方の極性の単位電極2に対向する他方の極性の単位電極3が配設される空間の少なくとも一部を形成し且つ一方の極性の単位電極2を支持するための支持用突起7が一体に形成されたものであるプラズマ発生電極1。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

極性の異なる二種類の板状の単位電極を複数備え、極性の異なる二種類の前記単位電極が所定間隔を隔てて階層的に積層されてなるとともに、互いに対向する前記単位電極相互間にプラズマを発生するための放電空間が形成されたプラズマ発生電極であって、極性の異なる二種類の前記単位電極のうち、同一極性である一方の極性の単位電極が、導電性を有する板状の導電体と、前記導電体を覆うように配設されたセラミック誘電体とを有し、前記一方の極性の単位電極の前記セラミック誘電体が、前記セラミック誘電体の少なくとも一方の表面の一の方向における少なくとも一方の端部に、互いに対向する前記単位電極相互間にプラズマを発生するための前記放電空間及び前記一方の極性の単位電極に対向する他方の極性の単位電極が配設される空間の少なくとも一部を形成し且つ前記一方の極性の単位電極を支持するための支持用突起が一体に形成されたものであるプラズマ発生電極。

IPC (3件)：

H05H 1/24 , B01J 19/08 , H05H 1/46

FI (3件)：

H05H1/24 , B01J19/08 E , H05H1/46 R

Fターム (12件)：

3G091AB14 , 3G091BA13 , 4G075AA03 , 4G075AA07 , 4G075BA01 , 4G075CA47 , 4G075EA01 , 4G075EB42 , 4G075EC21 , 4G075FB02 , 4G075FB04 , 4G075FC15

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許出願公開第2002/0174938号明細書

審査官引用 (7件)

高電圧パルス発生回路
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-056308 出願人：日本碍子株式会社
プラズマリアクタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-034424 出願人：日本碍子株式会社
特開昭55-056002

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