特許
J-GLOBAL ID：200903087505071518
真空排気システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-088752
公開番号（公開出願番号）：特開平10-266959
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】 PFCなどのガスの大気への放出を防止するとともに、排ガス処理装置の負担軽減、真空ポンプの長寿命化を図って、環境保全、運転の信頼性と安全性の向上、更には設備や運転コストの低減を図る。【解決手段】 真空チャンバ10と真空ポンプ12の間の排気経路14に、排ガスの成分をトラップ部18でトラップするトラップ室32aとトラップされた成分を再生する再生室34aとを有するトラップ装置20が設けられ、再生室から延びる再生経路16には排ガス処理装置22と排ガス処理装置で処理できないガスを貯蔵するガス貯蔵容器24が設けられていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
真空チャンバと真空ポンプの間の排気経路に、排ガスの成分をトラップ部でトラップするトラップ室とトラップされた成分を再生する再生室とを有するトラップ装置が設けられ、前記再生室から延びる再生経路には排ガス処理装置と該排ガス処理装置で処理できないガスを貯蔵するガス貯蔵容器が設けられていることを特徴とする真空排気システム。
IPC (4件)：
F04B 37/16
, H01L 21/02
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
F04B 37/16 C
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
