電気炉の温度制御方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：守山辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090640
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260294
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】基板を電気炉内に投入した時に電気炉の炉内温度を迅速に設定した目標温度に安定維持させる。【解決手段】目標温度設定器9の入力する目標温度にしたがって第1調節器12と第2調節器13とにヒータ7を制御させて電気炉1を加熱する電気炉の温度制御方法において、基板wの投入の際に温度補正器11が電気炉1の炉内温度と設定した目標温度との温度差の時間変化パターンを求める。そして、以降の基板wを投入する際には、温度補正器11が前記求めた温度差の時間変化パターンを目標温度パターンに加えて、この補正した目標温度パターンにしたがって第1調節器12と第2調節器13とがヒータ7を制御して電気炉1を加熱する。これによって、基板w投入の際に生じる電気炉1の炉内温度の変化を抑えることができ、電気炉1の炉内温度を迅速に設定した目標温度に安定維持する。

請求項（抜粋）：

ヒータにより加熱される電気炉内に基板を投入するに際して、ヒータを制御して電気炉内の温度を規定の目標温度に維持する電気炉の温度制御方法において、基板の投入に際して生ずる電気炉内の温度変化を計測し、前記目標温度と当該計測した温度との温度差の時間変化パターンを求めておき、以降の基板投入に際して、目標温度に時間毎の前記温度差を加え、当該補正された目標温度パターンに基づいてヒータ制御を行うことを特徴とする電気炉の温度制御方法。

IPC (6件)：

H01L 21/22 511 , H01L 21/22 501 , G05D 23/19 , H01L 21/205 , H01L 21/31 , H01L 21/324

FI (6件)：

H01L 21/22 511 A , H01L 21/22 501 A , G05D 23/19 J , H01L 21/205 , H01L 21/31 F , H01L 21/324 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

熱処理炉
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-318287 出願人：山口日本電気株式会社

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