特許

J-GLOBAL ID：200903087634895276

ペリクルの製造方法及びそれにより得られたペリクル

発明者： 本多 英司 ,  加藤 一樹
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社 ,  旭化成電子株式会社
代理人 (1件)： 清水 猛 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342381
公開番号（公開出願番号）：特開平10-171101
出願日： 1996年12月09日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 セルロース誘導体から構成されるペリクルにおいて、容易に濾過できるセルロース誘導体の有機溶媒溶液を用いるペリクルの製造方法、及びれによって得られる異物が少なく光線透過率の高いペリクル、を提供する。【解決手段】 混練処理したセルロース誘導体を用いるペリクルの製造方法、及びそれにより得られたペリクル。

請求項（抜粋）：

セルロース誘導体から構成されるペリクルの製造方法において、混練処理したセルロース誘導体を用いてペリクル膜を形成することを特徴とするペリクルの製造方法。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  C08L 1/08 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/14 J ,  C08L 1/08 ,  H01L 21/30 502 P

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 粘着性ペリクル膜およびペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-342840   出願人：三井石油化学工業株式会社