特許
J-GLOBAL ID：200903087638557146
弾性表面波素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-298113
公開番号（公開出願番号）：特開平7-154180
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 LBO基板を用いた弾性表面波素子の共振周波数の調整が簡単且つ確実に行え、且つ乾式のプロセスによってその取扱いが極めて簡単な弾性表面波素子の製造方法を提供することにある。【構成】 LBO基板1上に所定形状の電極パターン5aを形成した弾性表面波素子の製造方法であって、前記電極パターン5aを形成した状態においては所定共振周波値より高く形成するとともに、その後、活性化したフッ化物気体に暴露し、上記電極パターン5aを除くLBO基板1表面部分のみを選択的にエッチング処理して、所定共振周波数値に調整する。
請求項（抜粋）：
四ほう酸リチウム単結晶基板上に所定形状の電極パターンを形成した弾性表面波素子の製造方法であって、前記電極パターンを、あらかじめ所定共振周波値より高く形成するとともに、その後、活性化したフッ化物気体に暴露し、上記電極パターン部を除く基板表面部分のみを選択的にエッチング処理して、所定共振周波数値に調整することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
引用特許：
前のページに戻る
